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張保國 教授研究方向:1. 大規(guī)模集成電路20-14nm技術節(jié)點的化學機械平坦化新工藝的研究 2. 化合物半導體材料表面拋光及清洗加工技術的研究 3. 倒裝LED芯片工藝中關鍵技術的研究 4. 柔性高效太陽能電池新工藝的研究
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研究方向:1. 大規(guī)模集成電路20-14nm技術節(jié)點的化學機械平坦化新工藝的研究 2. 化合物半導體材料表面拋光及清洗加工技術的研究 3. 倒裝LED芯片工藝中關鍵技術的研究 4. 柔性高效太陽能電池新工藝的研究