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| SX系列半自動晶圓探針臺 | ||||
| 型號 | SX-6 | SX-8 | SX-12 | |
| 外形（W*D*H） | 1000mm*1400mm*1400mm | 1100mm*1500mm*1400mm | 1200mm*1600mm*1400mm | |
| 重量 | 約1000KG | 約1150KG | 約1350KG | |
| 電力需求 | AC220V，50~60Hz | |||
| CDA需求 | 0.4~0.8Mpa | |||
| Chuck | 尺寸 | 6″ | 8″ | 12″ |
| X-Y軸行程 | 200mm*300mm | 250mm*400mm | 350mm*500mm | |
| X-Y軸移動解析度 | 0.1μm | |||
| X-Y軸重定位精度 | ≤±1μm | |||
| X-Y移動速度 | ≥70mm/sec | |||
| Z軸行程 | 20mm | |||
| Z軸移動解析度 | 0.1μm | |||
| Z軸重定位精度 | ≤±1μm | |||
| Z軸移動速度 | ≥20mm/sec | |||
| Theta角度行程 | ±10° | Theta角度解析度 | 0.0001° | |
| 樣品固定方式 | 多孔真空吸附，獨立分開控制 | |||
| 更換樣品方式 | Chuck快速拉出 | |||
| 結構 | 三軸超低噪聲設計，鍍金，電學獨立懸空（chuck可作為背電極） | |||
| 針座平臺 | 規格 | O型平臺，*多可放置12個針座（不安裝八角盒時） | ||
| 顯微鏡X-Y-Z | X-Y軸行程 | 2″* 2″ | ||
| X-Y軸移動解析度 | 0.1μm | |||
| X-Y軸重定位精度 | ≤±2μm | |||
| X-Y移動速度 | ≥10mm/sec | |||
| Z軸行程 | 5″ | |||
| Z軸移動解析度 | 0.1μm | |||
| Z軸重定位精度 | ≤±1μm | |||
| Z軸移動速度 | ≥10mm/sec | |||
| 顯微鏡 | 變倍顯微鏡 | 15：1三檔變倍顯微鏡，可同時顯示低倍和中倍/高倍畫面，便于點針操作 | ||
| 相機 | 雙相機（200W或者500W 工業級數字相機） | |||
| 點針規格 | 點針精度 | 10μm / 2μm / 0.7μm | ||
| X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
| 漏電精度 | 10pA / 100fA / 10fA | |||
| 接口形式 | 香蕉頭/同軸 /三軸/ SMA /SHV等 | |||
| 固定方式 | 磁力吸附 / 真空吸附 | |||
| 溫控組件 | 溫度范圍 | ﹣60℃-200℃（標準） | ||
| 溫控穩定性 | ±0.1℃ | |||
| 溫控分辨率 | 0.01℃ | |||
|
升溫時間 （12″卡盤） |
﹣60℃至+25℃≤15分鐘 +25℃至+200℃≤25分鐘 |
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|
降溫時間 （12″卡盤） |
﹢200℃至+25℃≤30分鐘 ﹢25℃ 至-60℃≤50分鐘 |
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| 噪聲 | ＜50dB | |||
| 加熱方式 | 低壓直流加熱/PID控制 | |||
| 制冷方式 | 壓縮機制冷 | |||
| 減震 | 減震方式 | 空氣薄膜減震系統，確保2000X放大時畫面不抖動 | ||
| 震動抑制 | 在運動過程中以及起始或者停止時能夠極快的速度保證設備的平穩≤1S，提高測試效率。 | |||
| 系統屏蔽 | EMI屏蔽 | > 30 dB (typical) @ 1 kHz to 1 MHz | ||
| 光衰減 | ≥ 130 dB | |||
| 光譜噪聲基底 | ≤ -180 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz) | |||
| 系統交流噪聲 | ≤ 5 mVp-p (≤ 1 GHz) | |||
| 軟件功能 | 自動測量和補償Wafer高度 | 可對儀表的輸入輸出參數進行管理編程 | 可實時顯示測試結果 | |
| 自動align，校準晶圓校水平 | 可對測試結果進行bin值劃分，判斷器件好壞 | 器件測試應用獨立升級 | ||
| 自動測量Die size及生成map圖 | 多系統集成迅速完成，可支持單點或連續測試 | 強大的數據儲存能力以及數據處理能力 | ||
| 任意wafer map 編輯 | 支持Z，N形等測試 | 自動保存數據以及數據曲線，且數據可遠程訪問 | ||
| 差異數據的標定Ink mark | 一鍵自動校準RF探針模塊，自動清針功能 | 通訊接口：R232/485/TCP/IP/GPIB | ||
| 操作系統與應用分離；操作系統可獨立式升級，應用獨立升級 | ||||
| 特點： | ||||
| 超高的測試精度，效率和穩定性 | 便捷的儀器接入 | |||
| 多倍率同時顯示光學系統 | 可升級大功率晶圓測試 | |||
| （-60~200℃）超低噪聲高低溫Chuck | 可升級射頻測試 | |||
| 功能豐富的測試軟件 | 可升級全自動測試 | |||
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