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特征X射線及其衍射X射線是一種波長(0.06-20nm)很短的電磁波,能穿透一定厚度的物質,并能使熒光物質發光、照相機乳膠感光、氣體電離。用高能電子束轟擊金屬靶產生X射線,它具有靶中元素相對應的特定波長,稱為特征X射線。如銅靶對應的X射線波長為0.154056 nm。
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