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氮化硅陶瓷燒結裝備的主要配置如下：
爐門：側開門，臺車裝出料
爐殼：全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼
爐膽：石墨保溫或金屬保溫
加熱器：石墨或鉬加熱體
工藝氣路系統：體積/質量流量計；手動閥/自動閥；進口/國產
真空泵和真空計：進口/國產
人機界面：模擬屏/觸摸屏/工控機
PLC：霍尼韋爾DCS控制器、西門子PLC、歐姆龍PLC
控溫：霍尼韋爾DCS控制器、日本導電儀表、霍尼韋爾儀表、歐陸儀表
熱電偶：WRW-2300或紅外
電器元件：天正/正泰/施耐德/西門子
氮化硅陶瓷燒結裝備的規格：
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