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法蘭實(shí)心軸磁性軸封
前端螺紋實(shí)心軸磁性流體軸封
單軸無法蘭磁性流體軸封
螺帽夾緊型磁性流體軸封
半導(dǎo)體設(shè)備用磁性流體密封轉(zhuǎn)軸
半導(dǎo)體設(shè)備用磁性流體密封轉(zhuǎn)軸附冷卻水路
空心型磁性流體軸封
空心型含法蘭磁性流體軸封
空心型帶法蘭磁性流體軸封附冷卻水路
Htc日揚(yáng)真空提供優(yōu)質(zhì)磁流體密封裝置為單晶矽爐、鍍膜設(shè)備、化學(xué)氣相沉積、液晶再生、電子指示器、熱處理爐等超高真空系統(tǒng)及對環(huán)境要求較高的設(shè)備使用.
從低速到高速-低壓到高壓, 均能滿足各種設(shè)備作業(yè)上需求.
真空度: 10-6Pa
泄漏率: 10-12Pa·m3/sec
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