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基本特點：
1）高壓段抽速快，運轉功率低，噪音低。
2）可依制程/環境需求選用水冷（防爆）或氣冷（防爆）馬達。
3）氣冷馬達機型可搭配自循環冷卻系統，能使用在無冷卻水系統的環境
典型應用：
面板TFT-LCD
太陽能
冶金系統
鍍膜
電漿制程
干燥處理
制程氣體抽取
生技/制藥
化工產業
技能參數:
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