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該系列真空泵可單獨使用,亦可作為增壓泵、擴散泵、分子泵及鈦泵的前級泵使用,設有氣鎮閥時,可抽送適量的可凝性氣體、濕空氣或氣水混合氣體,但介質中不能含有顆粒狀固體物質。
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