主成分含量(%):
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采用**Si-Fusion**,可實現硅與硅之間的熔接,各部件熔接形成的硅舟可應用在1100-1200℃的高溫處理工藝和CVD-Poly沉積工藝。
技術優勢
1.可進行硅舟結構的定制化設計,包括溝棒形狀,溝齒長度、形狀、傾斜角度,以及硅舟的總載片量。
2.高溫硅舟可以有效減少硅片的接觸損傷,提升制程良率。
3.熔接硅舟可以對損壞部件進行更換,降低持有成本。
4.硅舟擁有較大的多晶硅沉積上限,可以有效減少設備PM頻率,提升產能。
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