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1、高速度、高精度測量系統。 2、**160mm*160mm范圍自動測量。 3、重復測量精度≦0.5μm。 4、適用高反光、高透光材料。 5、數據重復測量的一致性。 6、測量膜厚、線寬、平面度等。
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