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1.充氣壓力：≤0.05MPa 2.升壓率：＜ 4Pa/h 3.爐體：雙層水冷結構、304 不銹鋼材質。 4.復合真空計測量范圍：1.0×10 ? 5 ～1.0×10 5 5.前級機械泵型號：BSV60 抽速：16L/S
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