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一、概述
SE-Vi是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機/無機鍍 膜工藝研究的需要開發的原位薄膜在線監測中的定制化 開發，快速實現光學薄膜原位表征分析。 |
二、測試案例
實時監測成膜工藝
實時膜厚表征
三、產品應用
■ 廣泛應用于金屬薄膜、有機薄膜、無機薄膜的物理/化學氣相沉積，ALD沉積等光學薄膜工藝過程中實際原位在線監測并實時反饋測量物性數據。
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