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| Helios是全自動實時材料分級和過程控制的在線監控設備， 鑒別太陽能電池材料中可能降低效率的隱性傷痕，提高生產效率的同時降低成本。每條生產線每年提升效益170萬美元！ 應用： 1.進料監控 通過少子壽命自動對晶圓定級 2.過程控制 監控和優化關鍵工序，如擴散和鍍膜等 3.損傷鑒別 檢測電池片成品的破損和微小裂痕 | ||||
| 特點： 1. 線上監控或線下分析都適用 2. 采用InGaAs探頭提升測量靈敏度，減少檢測時間 3. 采用高靈敏光學成像技術，每片晶圓測試時間<1s 4. 鑒別并預防低質量材料進入高損耗工序，降低成本 5. 采用簡單明了的圖形界面和是非判定 6. 相比于其他同類PL系統更具性價比 | ||||
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