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核心參數(shù)

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PDHID氦離子化檢測(cè)器在線敏感檢測(cè)
適用于氣體工業(yè)，稀有氣體，半導(dǎo)體氣體的領(lǐng)域進(jìn)行痕量雜質(zhì)分析的自動(dòng)化儀器
是生產(chǎn)線質(zhì)量控制和品質(zhì)保證*理想的檢測(cè)儀器
可任意配選，以適用于多種應(yīng)用場(chǎng)合
根據(jù)用戶需要可提供所需的數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)輸出的方式
采用了國際***的Valco閥、管路系統(tǒng)和檢測(cè)器

可選件

用戶自選的數(shù)字或模擬輸出
按照用戶需要，提供進(jìn)樣系統(tǒng)和校準(zhǔn)系統(tǒng)
擴(kuò)展應(yīng)用所需部件
電子流量測(cè)量和認(rèn)證
痕量濕度檢測(cè)
集成的架裝組件
特殊合金結(jié)構(gòu)或者Sulfinert® 或Silcosteel®鈍化系統(tǒng)
用戶自定義的報(bào)警系統(tǒng)
自動(dòng)標(biāo)定和認(rèn)證校準(zhǔn)
遙控附件

技術(shù)支持

儀器的報(bào)價(jià)中含有終身的技術(shù)支持。包括了對(duì)應(yīng)用適應(yīng)性的確認(rèn)，文件，現(xiàn)場(chǎng)安裝和培訓(xùn)。一旦儀器安裝完畢，就可以方便地通過電話和遙控信息的的技術(shù)支持。

VICI 的TGA痕量氣體分析器是一種即裝即用的在線分析儀表，硬件軟件齊全，可立即用于分析ppb級(jí)各種痕量氣體雜質(zhì)。每臺(tái)儀器都可以按照用戶的具體技術(shù)要求，用標(biāo)準(zhǔn)的VICI部件配以分析方法，操作條件和程序文件，組成用戶所需要的全套儀器。
所有的VICI TGS的標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用方式是檢測(cè)氦中的雜質(zhì)，同時(shí)也可以組合成檢測(cè)單元和多元?dú)怏w中的雜質(zhì)。取樣系統(tǒng)和工業(yè)級(jí)CPU可以裝入儀表架，也可以自成獨(dú)立系統(tǒng)（如圖）。標(biāo)準(zhǔn)的設(shè)置包括通過OPCserver軟件和自動(dòng)日常維護(hù)程序的數(shù)據(jù)共享。
定型產(chǎn)品

可以選擇下列配置完整的定型產(chǎn)品

測(cè)量氫氣中的PPB級(jí)含硫氣體
測(cè)量CO2中PPB級(jí)含硫氣體
測(cè)量常用氣（He， H₂， Ar， O₂， N₂， CH₄， C₂H₆， NH₃， CO₂， CO）中的雜質(zhì)
測(cè)量稀有氣體（He， Ne， Kr， Xe， Rn）中的雜質(zhì)
測(cè)量半導(dǎo)體氣體H₂， SiH₄， SiF₄， HBr， CF₄， CCl₄， NF₃， C₂F₆， C₃F₈， N₂O， C₂H₂， C₂H₆， C₃H₄， PH₃， AsH₃， SF₆， NH₃ 中的雜質(zhì)