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Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI（**技術的相干相關算法）干涉原理，可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關鍵尺寸，并計算關鍵部位的面積和體積。主要應用于數據存儲器件，半導體器件，光學加工以及MEMS/MOEMS技術以及材料分析領域。
技術參數：
(1) 類型： CCI 干涉（相干相關干涉）
(2) 分辨率： 0.1 A
(3) 測量點數： 1，048，576 ( 1024 x 1024 點陣 )
更詳細參數和有關應用問題請垂詢辦事處產品負責人。
主要特點：
•**的相干相關算法
•0.01nm分辨率
•10-20秒測量時間
•RMS重復性：0.03A
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