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英國Durham小型臺式無掩膜光刻機Microwriter ML3
小型臺式無掩膜光刻系統是英國Durham Magneto Optics公司專為實驗室設計開發,為微流控、SAW、半導體、自旋電子學等研究領域提供方便高效的微加工方案。
傳統的光刻工藝中所使用的鉻玻璃掩膜板需要由專業供應商提供,但是在研發環境中,掩膜板的設計通常需要經常改變。無掩膜光刻技術通過以軟件設計電子掩膜板 的方法,克服了這一問題。與通過物理掩膜板進行光照的傳統工藝不同,激光直寫是通過電腦控制一系列激光脈沖的開關,在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案。
Microwriter ML 3 是一款多功能激光直寫光刻系統,具有結構小巧緊湊(70cm X 70cm X 70cm),無掩膜直寫系統的靈活性,還擁有高直寫速度,高分辨率的特點。采用集成化設計,全自動控制,可靠性高,操作簡便。適用于各種實驗室桌面。
產品特點
Focus Lock自動對焦功能
Focus lock技術是利用自動對焦功能對樣品表面高度進行探測,并通過Z向調整和補償,
以保證曝光分辨率。
光學輪廓儀
Microwriter ML3 配備光學輪廓探測工具,用于勻膠后沉積層,蝕刻層,MEMS等前道結構的形貌探測與套刻。
Z向**精度100 nm,方便快捷。
標記物自動識別
點擊“Bulls-Eye”按鈕,系統自動在顯微鏡圖像中識別光刻標記。
標記物被識別后,將自動將其移動到顯微鏡中心位置。
別直寫前預檢查
軟件可以實時顯微觀測基體表面,并顯示預直寫圖形位置。通過實時調整位置、角度,
直到設計圖形按要求與有結構重合,保證直寫準確。
簡單的直寫軟件
MicroWriter 由一個簡單直觀的Windows界面軟件控制。工具欄會引導使用者進行簡單的布局設計、
基片對準和曝光的基本操作。該軟件在Windows10系統下運行。
Clewin 掩模圖形設計軟件
•可以讀取多種圖形設計文件(DXF, CIF, GDSII, 等)
•可以直接讀取TIFF, BMP 等圖片格式
•書寫范圍只由基片尺寸決定
直寫分辨率1μm
直寫分辨率0.6μm
微電極制備
微結構制備
微流通道制備
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英國Durham小型臺式無掩膜光刻機Microwriter ML3的工作原理介紹?
英國Durham小型臺式無掩膜光刻機Microwriter ML3的使用方法?
英國Durham小型臺式無掩膜光刻機Microwriter ML3多少錢一臺?
英國Durham小型臺式無掩膜光刻機Microwriter ML3使用的注意事項
英國Durham小型臺式無掩膜光刻機Microwriter ML3的說明書有嗎?
英國Durham小型臺式無掩膜光刻機Microwriter ML3的操作規程有嗎?
英國Durham小型臺式無掩膜光刻機Microwriter ML3的報價含票含運費嗎?
英國Durham小型臺式無掩膜光刻機Microwriter ML3有現貨嗎?
英國Durham小型臺式無掩膜光刻機Microwriter ML3包安裝嗎?