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Fischione微束定點離子減薄系統1040
Fischione微束定點離子減薄系統1040

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美國

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上海微納國際貿易有限公司

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技術特色：

• 獨有聚焦微束惰性氣體離子束
• 極低修復電壓：50 eV
• 聚焦束斑直徑：1μm
• 定位精度高，去除非晶層且不產生再沉積現象
• 采用氬離子束激發二次電子成像同時實現修復及定位
• 離子束可以對準定點位置或在一個選定的區域進行進行精細修復
• 配備液氮冷臺，去除熱損傷
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