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GSL-LCD是一款多路質量流量計控制系統，其質量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜**可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數管式爐配套使用時，可將管式爐置于移動柜上以節約空間。各通道氣路的流量設定和狀態顯示都集中在一6"的觸摸屏上，同時可以實時查看氣體流量曲線和數據。此款設備廣泛的用于材料界中CVD實驗和各種材料的退火實驗。
產品型號 | GSL-LCD(控制面板為觸摸屏） | ||||
技術參數 | 功能 | 雙通道 | 三通道 | 四通道 | 五通道 |
質子流量控制器 | 工作溫度：5~45oC **壓力:3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 線性: ±（0.5-1.5）%F.S.重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路:1~199 SCCM 二路:1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用 | 工作溫度：5~45 oC **壓力: 3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 線性: ±（0.5-1.5）%F.S. 重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用 | 工作溫度: 5~45 oC **壓力:3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 線性: ±（0.5-1.5）%F.S.重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用 | 工作溫度: 5~45 oC **壓力: 3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 線性: ±（0.5-1.5）%F.S. 重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 五-九路可按照客戶要求定制 | |
產品規格 | 外形尺寸：600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H) | ||||
輸入電源 | AC 220V/50Hz單相 | ||||
功率 | 23W | ||||
PLC觸摸屏 | 各通道的氣路設定和查看都集中在一6"的觸摸屏上 RS485通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進行遠程控制 | ||||
機械壓力表 | 有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接 量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid) | ||||
針閥 | 316不銹鋼 | ||||
通氣管道 | 內部連接管道為1/4”不銹鋼管 外部通氣管道為1/4”聚四氟管 | ||||
混氣罐 | Φ80X120mm | ||||
截止閥及配件 | 316不銹鋼針閥 Φ1/4”不銹鋼管 | ||||
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