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產品簡介：本公司所售靶頭適用靶材種類較廣，如金屬/絕緣靶或磁性/非磁性靶材。配裝有環形永磁體在靶頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。可與DC或RF電源配合使用。
靶頭種類 | ||
直、折靶 | 方靶 | 自轉轉靶 |
公、自轉轉靶 | 多弧濺射弧源 | |
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