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非觸式微區(qū)形貌測(cè)試系統(tǒng)OSP370/470
使用非接觸式激光位移傳感器，OSP370模塊可快速準(zhǔn)確地對(duì)非觸表面進(jìn)行高精度測(cè)量。在不接觸樣品表面的情況下，它可以在10mm的高度范圍內(nèi)提供小于1微米高度分辨率的3D表面特寫(xiě)影像。
非觸式微區(qū)形貌測(cè)試系統(tǒng)OSP370/470
各種可選配件，包括各種可選探針，可選池體(Environmental TriCellTM， μTriCellTM和Shallow μTriCellTM)，長(zhǎng)工作距離光學(xué)視頻顯微鏡(VCAM2)和3D表面陰影渲染軟件(3DlsoPlotTM)。能配置到一個(gè)特定的應(yīng)用程序并升級(jí)，使M370獨(dú)特靈活，同時(shí)保持頂端的性能。
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