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體質量流量控制器（流量計）（Mass gas flow controller（meter））縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質量流量進行精密測量和控制的設備。
*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準 *高精度 *重復性好 *響應速度快、軟啟動、穩定可靠 *低壓降
*操作使用方便，可任意位置安裝
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