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Energetiq激光驅動白光光源LDLS EQ-99X

Energetiq激光驅動白光光源LDLS EQ-99X是一款高亮度，高穩定、長壽命寬光譜光源，采用LDLS™激光驅動光源技術，使用高功率連續激光直接聚焦氙燈內的氙離子加熱至非常高的的溫度，從而發出高效的寬頻譜光。具有高可靠性，高性能，高亮度，長壽命，紫外功率高等特點。其產品具有很寬的光譜范圍，譜線包括深紫外線（DUV）， 并覆蓋從可見光到近紅外光區（NIR），波長范圍從 170nm到2100nm 以上。

產品特點：

連續激光等離子體發光，100-200μm光斑

整個光譜具有高亮度（170-2100nm）

可取代氘燈，鹵素燈，氙燈等多種燈

非常好的空間和功率穩定性

超凈間裝配提高穩定性和壽命

無電極長壽命運行，降低運行成本

應用：

紫外可見紅外光譜，顯微，單色儀光源

半導體厚度測量，形貌測量

光學元件測量

環境，氣象監測，氣相測量

材料表征，先進成像/照明

長壽命燈應用

工作原理圖

產品參數：

目前LDLS激光驅動白光光源已廣泛應用于科研和工業生產，超過2000臺光源出貨，中國大部分高校和部分半導體檢測廠家均在使用該光源且反饋良好！

產品技術優勢：

1.寬光譜，高亮度：LDLS激光驅動白光光源具有很寬的光譜表現，從深紫外-可見光-近紅外全覆蓋，在170-2100nm均有極高的亮度表現

由下圖我們可以看出EQ-99光源亮度在紫外區域是75W氙燈的10倍，可見光區域也是數倍；對于30W的氘燈亮度更是100倍以上。

2.長壽命：LDLS激光驅動光源在工作10000小時后仍具有90%輸出功率，而氙燈下降到50%只需要2000小時，氘燈只需要1000小時，極大地節約換燈，中斷實驗/產品線調試等運行成本，另外LDLS還也可以在24*7條件下持續工作。

3.光斑極小：下面三幅分別為氙燈，LDLS激光驅動白光光源的等離子發光體圖。經過測試氙燈尺寸大于2mm*2mm，EQ-77約為150*300μm，EQ-99約為70*145μm。極小的等離子體光斑帶來非常高亮度。易于聚焦于光譜儀/分光儀，光路搭建，在使用200μm以下狹縫時具有非常高的優越性，進入的能量比普通光源能高達10-100倍；另外耦合于光纖中具有非常好的效果，EQ-99XFC使用200μm光纖可以輸出50mW的光，而普通氙燈鹵素燈幾乎很難耦合。

氙燈（左）和LDLS（右）等離子體實物圖

4.等離子體位置/功率非常穩定：下圖為等離子體中心位置監測圖，在200Hz頻率下共2500個監測點，平均縱向不穩定度為0.094μm，橫向不穩定度為0.145μm，具備了極高的光斑位置穩定性，從而保證了測量過程和結果的穩定性。1000個積分時間為8ms共8s強度測量，平均強度不穩定性為0.25%，峰峰值不穩定性為0.55%。

等離子體中心位置強度不穩定性測量