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AF 200微型自動聚焦激光測量系統
德國BMT公司生產的AF200自聚焦測頭系統，可替代現有傳統的位移和粗糙度測頭。實現快速非接觸測量表面形貌，粗糙度以及精密位移。
激光測量光束借助于物鏡聚焦于物體表面，物鏡的位置連續可調，激光束的焦點總是與物體表面重合，可同時測量表面輪廓和局域反射光。
AFS傳感器具有表面復現度高的特點，傳感器可配備微型照相機適配器，以便能夠直接通過物鏡對表面片段直接觀察，使激光光束精密定位。特別開發、高度集成的BMT-IC技術，傳感器熱漂移極低。高倍率孔徑物鏡，保證儀器無論在垂直方向還是在水平方向均能提供較高的分辨率。主要用途：
◆具有完整表面復現的表面粗糙度和輪廓測量
◆精密位移測量
◆微機械零件的尺寸測量
◆金相測量
◆振動測量
◆厚度測量
◆微小區域內直線度、平面度、園弧半徑的測量（如轉位刀片刃口、金剛石刀具）
主要特點：
◆非接觸式表面輪廓測量、反射率的測量、垂直和橫向的尺寸測量
◆ BMT-IC**技術傳感器
◆微型化的傳感器
◆分辨率1nm
◆測量范圍2000μm
◆光斑直徑< 1μm
◆適用于制造業所有粗糙度測量
◆連續變焦
主要優點：
◆在高保真輪廓復現下對3D結構進行快速的非接觸式測量
◆測量結果與表面結構無關
◆數據采集和評估可歸并到已有的軟件中
◆具有可組裝性，可組裝到已有的系統中
技術數據：
型號 | AFS 1 傳感器 | AFS 2傳感器 | TFS傳感器 |
測量范圍nm | ±500 / ±50 | ±1000 / ±100 | ±500 / ±50 |
垂直分辨率nm | 1 | 1 | |
工作距離mm | 2 | 2 | 13 |
激光班直徑（約）μm | 0.5 | 0.5 | 1 |
**測量頻率* kHz | 20 | 20 | 20 |
**視場傾角** ° | 20 | 20 | 15 |
激光波長nm | 635 | 635 | 635 |
激光等級 | 1 | 1 | 1 |
外形尺寸mm | 52 x 25 x 58 | 52 x 25 x 58 | 52 x 25 x 58 |
重量（約）g | 100 | 100 | 100 |
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