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技術參數和功能:
獨特的50/200靶位混合粒子濺射源，接受固體樣品和CO2 氣體樣品。即CO2 氣體從
接地電位連續的提供。
Bouncer 型低能質譜儀支持快速順序注入，也支持慢速順序注入。
可旋轉的低能靜態電子分析器未來可支持添加第二種粒子源。
加速器的所有固態終端電壓供電都是長期可靠、穩定，具有*小限度的維護、更新性能。
1.0 MV的電極電壓可以測量寬范圍的元素，避免同位素干擾。
高能分析系統、低能/高能磁鐵，支持分析錒系元素。
支持結合陰離子同位素分離器。
綜合全面的數據采集和分析軟件。
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