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EM12-PV用于測(cè)量絨面單晶硅或多晶硅太陽(yáng)電池表面減反膜的厚度以及在632.8nm下的折射率n。也可測(cè)量光滑平面材料上的單層或多層納米薄膜的膜層厚度，以及在632.8nm下折射率n和消光系數(shù)k。
EM12-PV融合多項(xiàng)量拓科技**技術(shù)，采用一體化樣品臺(tái)技術(shù)，兼容測(cè)量單晶和多晶太陽(yáng)電池樣品。一鍵式多線程操作軟件，使得儀器操作簡(jiǎn)單安全。
| 項(xiàng)目 | 技術(shù)指標(biāo) |
| 儀器型號(hào) | EM12-PV |
| 激光波長(zhǎng) | 632.8nm (He-Ne Laser) |
| 膜厚測(cè)量重復(fù)性（1） | 0.2nm (對(duì)于平面Si基底上100nm的SiO2膜層) |
| 0.2nm (對(duì)于絨面Si基底上80nm的Si3N4膜層) | |
| 折射率精度（1） | 2x10-3 (對(duì)于平面Si基底上100nm的SiO2膜層) |
| 2x10-3 (對(duì)于絨面Si基底上80nm的Si3N4膜層) | |
| 單次測(cè)量時(shí)間 | 與測(cè)量設(shè)置相關(guān)，典型1.6s |
| 光學(xué)結(jié)構(gòu) | PSCA（Δ在0°或180°附近時(shí)也具有極高的準(zhǔn)確度） |
| 激光光束直徑 | 1-2mm |
| 入射角度 | 40°-90°可手動(dòng)調(diào)節(jié)，步進(jìn)5° |
| 樣品方位調(diào)整 | 一體化樣品臺(tái)輕松變換可測(cè)量單晶或多晶樣品 |
| 可測(cè)量156*156mm電池樣品上每個(gè)點(diǎn) | |
| Z軸高度調(diào)節(jié)：±6.5mm | |
| 二維俯仰調(diào)節(jié)：±4° | |
| 樣品對(duì)準(zhǔn)：光學(xué)自準(zhǔn)直顯微和望遠(yuǎn)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) | |
| 樣品臺(tái)尺寸 | 平面樣品直徑可達(dá)Φ170mm |
| 兼容125*125mm和156*156mm的太陽(yáng)能電池樣品 | |
| **的膜層厚度范圍 | 粗糙表面樣品：與絨面物理結(jié)構(gòu)及材料性質(zhì)相關(guān) |
| 光滑平面樣品：透明薄膜可達(dá)4um，吸收薄膜與材料性質(zhì)相關(guān) | |
| **外形尺寸 | 887 x 332 x 552mm (入射角為90º時(shí)) |
| 儀器重量（凈重） | 25Kg |
| 選配件 | 水平XY軸調(diào)節(jié)平移臺(tái) |
| 真空吸附泵 | |
| 軟件 | ETEM軟件： |
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