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ADC100直流放弧探測器
ADC100直流放弧探測器

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英福康（廣州）真空儀器有限公司

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特征概覽:

  • 監測直流電源的電壓及功率傳輸
  • 高速采樣頻率，可達10萬赫茲

應用：

  • 用于探測半導體，平板顯示器及太陽能等行業PVD腔體工藝制程過程中等離子體放弧（Arcing）。

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