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單縱模紫外納秒固體激光器IXION-193
IXION-193是單頻二極管泵浦全固態激光器。用于光學計量、高功率ArF準分子激光器的帶寬控制和193nm波長的步進校準。光譜帶寬接近理論傅立葉變換極限。中心波長以0.01nm的精確度從190nm到194nm范圍可選。系統可選內置高精度光譜儀，精確度可達1pm以保證對激光器調諧的**控制。
單縱模紫外納秒固體激光器IXION-193典型參數
型 號 | IXION-193 SLM |
波 長 | 193.368 nm |
平均功率 | >10 mW |
脈 寬 | < 10 ns |
脈沖能量 | >1.6 μJ |
重復頻率 | 6 kHz |
M2 因子 | < 1.6 |
線 寬 | <120MHz;0.015pm; 0.004cm-1 |
調諧范圍 | >80GHz;10pm;2.6cm-1 |
相干長度 | >1 m |
單縱模紫外納秒固體激光器IXION-193特點· 工業級的頻率轉換，密封封裝· 插槽安裝激光二極管泵浦· 優異的TEM00光束形貌· 脈沖到脈沖之間波動小· 免維護與熱電溫控管理· LabVIEW驅動· 內置光譜儀用于波長實時控制單縱模紫外納秒固體激光器IXION-193應用· 193 nm波長計量· 光譜儀校準· 干涉測量· 準分子激光器的種子注入脈沖寬度光譜帶寬長時間功率穩定性光束質量
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