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技術指標
●適用晶片尺寸 : 2~8英寸圓片
●工作溫度: 600℃~1300℃;
●可配工藝管數量:1~2管/臺
●恒溫區長度及精度:≤±0.5℃/300~600mm (800℃~1300℃),
● 單點溫度穩定性:≤±0.5℃℃ /24h (1100℃);
●溫度斜變能力:**升溫速率20℃/min,**降溫速率5℃/min;
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