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儀器簡介：
美國** 日本技術 90%市場占有率 是金屬/半導體材料研發和故障分析的有力工具。空間分辨率高，信息深度5納米以內
技術參數：
俄歇電子能譜儀
• He以上所有元素納米（約5nm）表面定性/表面定量/亞表層以及深度方向信息
1） 成分
2） 圖像
3） DETECT LIMIT 0.1%
4） *小束斑 6納米
5） 儀器型號PHI 700 清華，寶鋼2004，2005年購買
6） 報價 不含稅100萬美金
主要特點：
He以上所有元素納米（約5nm）表面定性/表面定量/亞表層以及深度方向信息
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