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反射式配置數(shù)字全息顯微鏡，無(wú)需掃描，非接觸式測(cè)量動(dòng)、靜態(tài)物體三維樣貌及振動(dòng)特性的測(cè)量方法。根據(jù)波長(zhǎng)的不同將反射式DHM分為三種型號(hào)：
R1000-配備單一光源，是測(cè)量光滑表面和振動(dòng)的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量工具
R2100-同時(shí)配置雙波長(zhǎng)，實(shí)現(xiàn)復(fù)雜或不連續(xù)結(jié)構(gòu)的測(cè)量。
R2200-在R2100基礎(chǔ)上多了第三方光源來(lái)擴(kuò)展測(cè)量能力，特別是測(cè)量透明模式。
反射式DHM的特性：
快速3D樣貌測(cè)量法 | MEMS分析，**頻率可達(dá)25Mh |
DHM測(cè)量表面三維樣貌，單一響應(yīng)，無(wú)需掃描機(jī)制。****的快速采集，相機(jī)速度達(dá)1000fps允許： 可變形樣品的3D動(dòng)態(tài)研究 常規(guī)檢查與高生產(chǎn)率 短余輝熒光屏及大型表面的分析 捕捉生產(chǎn)線的三維地貌 | 同步DHM 可選頻閃單元，測(cè)量MEMS裝置的激勵(lì)信號(hào)。這一獨(dú)特?cái)?shù)據(jù)分析提供： 三維地貌的時(shí)序 共振頻率和響應(yīng) 振動(dòng)振幅平面外分辨率可達(dá)5pm，平面內(nèi)可達(dá)1nm 表征復(fù)雜運(yùn)動(dòng)和樣品 |
測(cè)量可控制環(huán)境條件 | 透明模式的地貌測(cè)量 |
DHM獨(dú)特的光學(xué)配置允許用戶測(cè)量**光學(xué)質(zhì)量指標(biāo)： 通過(guò)玻璃和浸沒(méi)液體 內(nèi)部環(huán)境和真空室，控制溫度，濕度，壓強(qiáng)，氣體成分。 | 可選DHM反射式測(cè)量法分析軟件允許以下測(cè)量： 透明結(jié)構(gòu)的地形 厚度和折射率，多層結(jié)構(gòu)的厚度值 從10nm到幾十微米 柔軟材料和液體的地形 |
反射式DHM主要參數(shù)：
系統(tǒng) | |||
DHM型號(hào) | R1000 | R2100 | R2200 |
光源數(shù)量 | 1 | 2 | 3 |
操作波長(zhǎng)（±0.1nm） | 666nm | 794nm | 666 nm， 794 nm， 680 nm |
激光波長(zhǎng)穩(wěn)定性 | 0.01 nm / °C at 666 | ||
樣品臺(tái) | 手動(dòng)或自動(dòng)XYZ平臺(tái)，行程300 mm x 300 mm x 38 mm | ||
物鏡 | 放大倍數(shù)1.25x到100 x，標(biāo)準(zhǔn)，高數(shù)值孔徑，長(zhǎng)工作距離，水/油浸物鏡 | ||
物鏡轉(zhuǎn)輪 | 六孔轉(zhuǎn)盤 | ||
計(jì)算機(jī) | DELL工作站，**多核Intel處理器，高性能圖像卡，配置*小21英寸顯示屏及鼠標(biāo)， | ||
軟件 | 基于C++和.NET的Koala軟件，額外可選軟件模塊可用于先進(jìn)分析 | ||
數(shù)據(jù)兼容性 | 測(cè)量數(shù)據(jù)記錄在二進(jìn)制表格，可導(dǎo)出.txt格式，記錄和重建圖像可導(dǎo)出.tif格式或.txt數(shù)組 | ||
技術(shù)參數(shù)：
性能參數(shù) | |||
測(cè)量模式 | 666nm單波長(zhǎng) | 合成短波長(zhǎng)4.2um | 合成長(zhǎng)波長(zhǎng)24um |
DHM型號(hào) | R1000，R2100，R2200 | R2100，R2200 | R2200 |
精度[nm] | 0.15 | 0.15 / 3.0 * | 20 |
垂直分辨率[nm] | 0.30 | 0.30 / 6.0 * | 40 |
重復(fù)性[nm] | 0.01 | 0.01 / 0.1 * | 0.5 |
垂直測(cè)量范圍 | up to 200 μm | up to 200 μm | up to 200 μm |
銳利邊緣**臺(tái)階高度 | up to 333 nm | up to 2.1 μm | up to 12 μm |
表面類型 | 光滑表面 | 復(fù)雜，非連續(xù)表面 | 復(fù)雜非連續(xù)表面 |
垂直校準(zhǔn) | 取決于干涉濾光片，±0.1 nm | ||
響應(yīng)時(shí)間 | 標(biāo)準(zhǔn)500us，10us(可選) | ||
響應(yīng)速度 | 標(biāo)準(zhǔn)30幀（1024*1024像素），可選達(dá)1000幀 | ||
重建速率 | 高達(dá)25幀1024*1024像素全息圖（依賴于數(shù)據(jù)分析）（可選60幀） | ||
水平分辨率 | 取決于物鏡，低至300nm | ||
視野 | 取決于物鏡，從66um x66um到5um x5um范圍 | ||
工作距離 | 取決于物鏡，從0.3到18 mm | ||
數(shù)字對(duì)焦 | 取決于物鏡，高達(dá)50 x景深 | ||
*小樣品反射率 | 低于1% | ||
樣品照明 | 低至1 μW/cm2 | ||
頻閃裝置 | 兼容單一，合成短波長(zhǎng) | ||
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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