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技術優勢
1.可進行硅舟結構的定制化設計,包括溝棒形狀,溝齒長度、形狀、傾斜角度,以及硅舟的總載片量。
2.高溫硅舟可以有效減少硅片的接觸損傷,提升制程良率。
3.熔接硅舟可以對損壞部件進行更換,降低持有成本。
4.硅舟擁有較大的多晶硅沉積上限,可以有效減少設備PM頻率,提升產能。
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