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■ 設備參數
| 設備型號 | ALS05 | ALS06 | ALC01 | 
| 設備類型 | 光路可定制 | ||
| 加工幅面 | 200×200mm—1200×800mm(可訂制) | ||
| 定位精度 | ±5μm | ±5μm | ±5μm | 
| 重復精度 | ±5μm | ±5μm | ±5μm | 
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