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碳化硅異型件
高強度、高致密度、硬度接近金剛石、耐磨損；
優秀的化學穩定性，能抵抗各種酸、堿及有機溶劑類的腐蝕；
高導熱率、低熱膨脹系數、耐熱沖擊，并且*低熱變形；
耐高溫1600攝氏度以上，具有優秀的抗氧化性能；
電阻率在106-108Ω、無磁性，符合抗ESD的規范要求；
高比剛度和出色的熱均勻性，長期使用不易彎曲變形；
全面的耐化學腐蝕能力
耐電漿轟擊，特別適用于刻蝕設備；
低密度、質量輕。
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