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BP系列雙極濺射電源主要應用于等離子輔助薄膜沉積 PECVD 和雙陰極濺射鍍膜領域。以其優良的控制算法,能夠提供穩定可靠的雙極性輸出,并對功率、電壓、電流、頻率和脈沖時間等提供精確的輸出控制。
采用模塊化設計,按照行業標準設計。
波形和頻率靈活可調。
雙極性、單極性、直流、脈沖多種模式合一。
高穩態功率輸出。輸出穩定性 0.2%。
電弧主動抑制技術。
極快的電弧響應。
極低的電弧攜帶能量。小于 0.3mJ/kw 的能量攜帶。
豐富的通訊接口。
控制指令的快速響應。
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