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JSSD系列感應加熱PVT碳化硅單晶爐品牌
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◆ 設備采用模塊化結構設計，可方便切換晶體生長尺寸和石英腔室冷卻方式；
◆ 全金屬密封結構可以降低漏率；
◆ 旋轉液動力的冷卻方式提升了冷卻均勻性；
◆ 高精度控溫控壓及遠程監控技術進一步提升了設備自動化程度。
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