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石墨托盤
技術
1)用于LED外延片加工石墨頂板;
2)擋板結構內部晶片邊緣休息;
3)擋板與晶片襯底到兩個層次之間的互補關系;
4)保持擋板晶片襯底邊緣重合邊構成充分循環。
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