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網絡化磁場硅單晶爐可實現全自動化控制,具有高精度自動抽空檢測系統、高精度質量流量自動控制系統、高精度自動加熱檢測控制系統、高精度水溫自動檢測控制系統、高精度諧波抑制與無功功率自動補償系統等。具備多臺設備的集中監控、數據傳輸和管理等接口,可實現拉晶網絡化管理,詳細地拉晶記錄備份。各操作參數可實現摸屏控制。具有各種連鎖及安全保護措施,如水溫報警、壓力防爆閥、主副室限位互鎖、過流報警等。
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