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金屬有機源氣相沉積系統--MOCVD品牌
沈陽科學儀器產地
遼寧樣本
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產品概述：
MOCVD系統主要由真空室反應系統、氣體（載氣與氣相有機源）輸運控制系統、有機源蒸發輸運控制系統、電源控制系統、尾氣處理及安全保護報警系統組成。
設備用途：
MOCVD系統作為化合物半導體、超導等薄膜材料研究和生產的手段，特別是作為工業化生產的設備，有著其它半導體設備無法替代的優點。它的高質量、穩定性、重復性及多功能性越來越為人們所重視。它是當今世界上生產半導體光電器件和微波器件材料的主要手段，如激光器、發光二極管、高效太陽能電池、光電陰極等，是光電子等產業不可缺少的設備。
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