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12寸支撐石英環(huán)品牌
拓能石英產(chǎn)地
江蘇樣本
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該產(chǎn)品在外延單片中與升降軸配合使用，升降軸下落時，支撐環(huán)三個撐片拖起升降軸支撐銷子，銷子頂起wafer，從而為機械手拿取wafer做準備。
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