流動方向：
其他連接通道：
其他驅動方式：
其他輸送物料：
-連接方式：
其他材質：
其他口徑：
-壓力：
-設計標準：
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結構特點 Features
i ◆ 金屬膜片密封 ，提高產品的潔凈度與泄漏率
◆ 流道內部電解拋光粗糙度：EP: Ra 5 μin BA: Ra 10μin
◆ 母體螺紋：1/2"JFS接頭
◆ 內部容積：1.07in3
◆ ＊大流量：標準:30 SLPM,高流量 *HF:120 SLPM
◆ 設計驗證壓力：＊大額定壓力的150%
◆ 設計爆炸壓力：＊大額定壓力的300%
◆ 100%出廠氦氣測試
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