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核心技術:
超高膜厚勻性控制工藝與設備技術;
超低溫成膜工藝與對應之設備技術;
**射頻等離子體清潔工藝;
簡介: 九大**: 客制化精密零件、自主研發、**遠端監控、雙變頻電控系統、人機觸控界面、HOT N2功能模式、視覺燈效管理、6秒不斷電UPS系統、關鍵數據趨勢圖 先進性: 干泵結構的優化設計以降低能耗; 零件采用特殊涂層,增加抗腐蝕能力; 新型冷卻結構及內建熱氮氣吹掃功能模式
核心技術:
超高膜厚勻性控制工藝與設備技術;
超低溫成膜工藝與對應之設備技術;
**射頻等離子體清潔工藝;
先進性:
自有IP特殊Pre-treatment電極設計;
保證立體結構的完整包覆是借由設計TS Distance的優化,**的shielding box設計以及工藝參數的優化來達成;
獨特的cathode設計特點
簡介: 九大**: 客制化精密零件、自主研發、**遠端監控、雙變頻電控系統、人機觸控界面、HOT N2功能模式、視覺燈效管理、6秒不斷電UPS系統、關鍵數據趨勢圖 先進性: 干泵結構的優化設計以降低能耗; 零件采用特殊涂層,增加抗腐蝕能力; 新型冷卻結構及內建熱氮氣吹掃功能模式
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