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針對晶圓表面按客戶要求進行多點檢測，可快速準確地識別位錯信息。
響應速度快
交付有保障
定制化服務
兼容2-8英寸產品尺寸
支持 面陣/線掃 兩種功能
適用于多種化合物半導體晶圓
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