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該設備集磁控游射與離子鍍膜技術為一體,對提高顏色一致性、沉積速率及化合物成份的穩定性提供了解決方案,根據不同的產品需求,可選配加熱系統、偏壓系統、高化系統等裝置,設備所被制的膜層具有附著力強,致密性高的優點
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