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產品性能：
應用于半導體行業LED、多用于MOCVD、HVPE（GaN工藝）廢氣處理
多級噴淋，使易溶于水或與配置溶液反應生成沉積的物質，以達到有毒腐蝕氣體的回收，達標氣體的安全排放
處理能力，科研型：50SLM，生產型：100/400-1500SLM
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