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耐高溫 | 耐高壓 | 耐磨 | 使用壽命高 | 耐腐蝕性 | 純凈度高 |
? 基材：等靜壓石墨（厚度>0.5 mm） | ? 涂層：涂層：β-SiC（厚度<300 μm） |
晶圓制造
? 外延 | ? 擴散 |
? 精密加工（石墨） | ? 低壓化學氣相沉積 |
? 致密度高 | ? 結合力強 | ? 高純度 |
? 高導熱 | ? 耐腐蝕 | ? 抗開裂 |
? LED光電 | ? 集成電路 | ? 第三代半導體 |
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