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BRAVERY 3000 光調制反射晶圓檢測系統品牌
微崇半導體產地
北京樣本
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BRAVERY 3000
光調制反射晶圓檢測系統
BRAVERY 3000 是具有巨大市場價值的新型晶圓缺陷檢測設備，其采用光調制反射技術，可實現對晶圓的非接觸、無損傷、在線、快速、內部檢測，精準診斷與定位晶圓缺陷，該產品對有/無圖案晶圓均適用，可填補當前國內市場離子注入工藝非接觸檢測設備的國產化空白，實現晶圓注入質量特性檢測量產化。
產品特點
非接觸非破壞性
有/無圖案晶圓皆適用
可作為在線檢測設備
無需測前與測后處理，超快檢測速度
軟件檢測操作簡單
主要應用
各種離子注入及退火工藝的質量監控
刻蝕等工藝對晶圓損傷的質量監控
產品優勢
自研產品，可定制化
可自動生成wafer map等可視化數據
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