非金屬電熱元件：
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主要特點
電感加熱式物理氣相傳輸SiC生長爐
雙壁水冷石英管
2英寸，100mm或150mm晶圓工藝
高溫計控制和電源控制，保證生長爐穩定運行
自動PLC控制、帶工藝、觸屏、安全互鎖/警報等功能
遠程監測和控制
占地空間*小的SiC生長爐
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