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技術特點:● 亞微米線寬工藝 ● 高均勻性和一致性 ● 去離子水減少高達80% ● 工藝介質減少高達80% ● 封閉式系統 ● 可柔性多腔室組合 | 設備用途:● 閃蝕工藝 ● 清洗工藝 ● 剝膜工藝 ● 顯像工藝 |
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