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Bhadra?立式高溫氧化爐HBO150品牌
拉普拉斯產地
廣東樣本
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Bhadra?立式高溫氧化爐HBO150
功能
1.高溫氧化工藝
2.DCE清洗去除可動離子作用和中高溫退火工藝
技術參數
適配晶圓尺寸：4，6寸
適用襯底材料：碳化硅
適用領域：功率半導體、襯底材料、科研
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