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概述應用

AMT深紫外皮秒激光器擁有****的四倍頻換點功能，能保證換點后光束質量、光斑大小、光束指向性不 變，提高機器穩定性。同時擁有全新設計的光學系統具有可靠的功率穩定性<3%，優越的光束質量（M2<1.3）和**的光斑圓度（>90%）, 可輸出深紫外波長266nm，功率**可達3W以上，實現優異的激光微加工質量。

AMT-266皮秒激光器擁有自研高性能高可靠性的核心模塊，如超快種子源、非線性晶體的高溫加熱爐等，保 證了整機系統的長期可靠性，實現單點壽命大于1000hrs，整機壽命大于20000hrs；擁有空氣潔凈系統，可以對腔內進行清潔維護，延長晶體使用壽命。

AMT深紫外激光器支持多觸發模式可選，具備同步輸出功率，內置功率檢查模塊，是性能與穩定性的**結 合。深紫外激光器廣泛應用于藍寶石GaN分離、無碳化冷加工、玻璃晶粒分離等領域。AMT-266-3W-70M激光器主要應用于28nm及以下節點制程的芯片缺陷檢測，也可應用于大口徑光學元件表面形貌檢測、高分子 材料切割和高密度信息存儲等領域。