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AltraPure? Max 系列在線式氣體過濾器品牌
敖純過濾產(chǎn)地
上海樣本
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AltraPure? Max 系列在線式氣體過濾器，設(shè)計為過濾≥3nm（0.003μm）顆粒物的工藝氣體。
為大工作流量范圍（0~1000slpm）、高雜質(zhì)含量工藝氣體應(yīng)用提供了一個具有成本效益的過濾解決方案。
過濾器具有優(yōu)秀的化學兼容性，適用于所有種類的半導體制程氣體，如：化學氣相沉積、物理氣相沉積、干法刻蝕、氧化、擴散、離子摻雜、光刻顯影等干法或濕法制程中工藝反應(yīng)氣體、吹掃氣體、保護氣體等的過濾。
暫無數(shù)據(jù)！
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